產品介紹
智慧晶圓感測器( Smart Sensing Wafer) 是一款專為監控半導體機台的多功能先進量測儀器。它整合了振動、水平、溫濕度的量測功能，提供設備All-in-one 監控方案。
具備高精度振動感測器，進行機構振動監控；高精度水平感測技術與溫濕度感測，可協助監控搬運過程中的變化，防止晶圓刮傷和溫溼度異常。量測軟體同時支援即時趨勢圖與分析功能，隨時檢查比對過往運行紀錄，提升機台生產穩定度。此外內建快閃儲存裝置，無須擔心無線傳輸中斷問題，因此能夠傳送於機台腔體內部，進行量測儲存csv量測資料。適用於晶圓傳送製程、振動監控、環境參數監控與設備校準等場景，助力半導體行業實現智慧化與高效化，提升製程穩定度與生產效率的理想選擇。

應用實例

◆ 半導體機械手臂晶圓傳送穩定性監控量測。
◆ 半導體OHT 天車狀態分析監控。
◆ 半導體設備內部狀態監控。
◆ 傳送生產設備穩定性監控。
◆ FOUP 傳送狀態穩定性分析監控。