精密感測器與量測技術

Precision Sensors and Measurement Technology

無風式靜電消除器

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特殊工程凝膠

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多點陣列式溫溼度晶圓型感測器

產品介紹

本公司開發的多點陣列式溫溼度晶圓型感測器，專為製程微環境監控設計。其獨特的晶圓尺寸設計，能直接進入設備內的真空腔體，即時且多點記錄關鍵的溫溼度分佈數據。這項能力徹底解決了傳統感測的盲點，能協助客戶量測設備內的溫溼度變化，確保良率的穩定性。，是您優化精密製程、加速調機與提高產線效益的關鍵工具。