高精密振動與水平量測系統

High-Precision Vibration & Leveling System

聲學與音頻量測系統

Acoustic & Audio Measurement System

AI伺服器散熱複合材料與熱管理解決方案

AI Thermal Materials & Solutions

工程用特殊減震與清潔凝膠

Vibration-Damping and Cleaning Gel

壓力分佈與其他感測器

Pressure Mapping and Other Sensors

電壓壓降補償器

Voltage Sag Compensator

設備PHM與AI狀態監控系統

PHM & AI Condition Monitoring System

其他工程諮詢服務 Q & A

Product Technical Inquiry Q & A
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產品服務

多點陣列式溫溼度晶圓型感測器

產品介紹

本公司開發的多點陣列式溫溼度晶圓型感測器，專為製程微環境監控設計。其獨特的晶圓尺寸設計，能直接進入設備內的真空腔體，即時且多點記錄關鍵的溫溼度分佈數據。這項能力徹底解決了傳統感測的盲點，能協助客戶量測設備內的溫溼度變化，確保良率的穩定性。，是您優化精密製程、加速調機與提高產線效益的關鍵工具。