產品介紹

TZ-7100 粒子監測系統是一款專為半導體製程與無塵環境設計的高精度監測設備，提供 PM 0.1 至 PM 5.0 的多粒徑即時量測能力。

採用先進雷射光學與光子計數（Photon Counting）技術，可逐顆偵測空氣中微粒，取得非推估的真實數據，相較傳統感測方式，大幅提升量測準確度與數據可信度，即使在低濃度環境中亦能穩定運作。

系統具備多粒徑同步監測、每秒即時數據更新與長時間資料記錄功能，能完整呈現粒子變化趨勢，協助快速判斷製程異常與污染來源。搭配高一致性校正機制與自動清潔設計，確保長期監測的穩定性與可靠性。

透過即時監控與數據分析能力，TZ-7100 可作為製程管理、設備監控與風險預警的重要工具，協助提升良率並強化整體生產效率。

應用實例

♦半導體製程粒子監測與污染控制

♦無塵室環境即時監控

♦製程設備運作環境分析

♦製程異常事件預警

♦人員活動與落塵來源分析