支援高精度設備狀態監控與異常分析

創智先進科技持續深化高精度感測技術於半導體設備領域之應用，已大量安裝於國際知名半導體EFEM設備內，將 iVS 智慧振動監測系統應用於設備端，針對自動化搬運設備（Robot Arm）進行高解析振動監測與數據分析。

iVS 系統可於設備運行過程中即時擷取微振動訊號，並透過時域與頻域分析，建立設備運轉特徵模型，協助辨識潛在異常，如結構共振、馬達異常或機構磨耗等問題。

本次應用重點包含：

• 手臂關鍵結構之振動監測建置
• 設備運轉行為特徵分析
• 異常訊號辨識與趨勢判讀
• 支援設備預防保養與狀態監控機制

透過 iVS 系統之應用，可有效提升設備運轉穩定性，降低非預期停機風險，並進一步強化製程可靠度。

創智先進將持續拓展 iVS 系統於半導體設備之應用場域，涵蓋 Robot、EFEM、Pump、Spin 等關鍵單元，協助客戶建構設備健康監測（PHM）與預測維護（Predictive Maintenance）之能力。