振動/水平/壓力量測技術

Vibration / Level / Force Measurement Technology

無風式靜電消除器

Ion Blade Ionizer

電力品質解決方案

Electrical Power Quality Solution

EXSEAL 特殊工程凝膠

EXSEAL Engineering Gel

系統整合與開發服務

System Integration Development

產品技術諮詢 Q & A

Product Technical Inquiry Q & A
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創智先進 iVD 無線振動感測器， 應用於晶圓產業研磨設備上的成效。
2022.10.27

利用iVD 無線振動感測器，量測晶圓研磨設備的振動與偏擺狀況，協助工程師進行調機測試。

 

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